活性炭吸附脱附催化燃烧工艺，是一种环保、高效的废气处理技术。其主要流程包括吸附、脱附和催化燃烧三个步骤。

首先是吸附步骤。在这一步骤中，废气通过活性炭床层时，废气中的有害气体会被吸附到活性炭表面。活性炭的吸附性能主要取决于其孔径大小和表面化学性质。活性炭表面的孔径大小介于0.2~2.0纳米之间，这些孔道可以吸附一些小分子的有害气体，如甲醛、苯等。同时，活性炭表面有较多的羟基、羰基、羧基等官能团，这些官能团可以与一些大分子的有害气体，如二氧化硫、氨等发生氢键、离子键等相互作用，从而将其吸附。

其次是脱附步骤。在吸附饱和之后，需要将活性炭中吸附的有害气体脱附出来，以便进行后续的处理。脱附方法主要有热脱附和压脱附两种。热脱附是将活性炭加热至一定温度，使得吸附在活性炭表面的有害气体分子能够重新脱附到气相中。压脱附则是通过改变活性炭床层的压力，使得吸附在活性炭表面的有害气体分子能够重新脱附到气相中。

最后是催化燃烧步骤。在脱附后的有害气体分子，通过催化剂作用下，与氧气进行反应，发生氧化反应，将有害气体分子转化为无害气体分子。催化剂通常采用贵金属催化剂，如铂、钯等。这些催化剂可以提高反应速率，使得有害气体分子能够更快地被氧化、转化为无害气体。

通过这三个步骤的综合作用，活性炭吸附脱附催化燃烧工艺可以有效地去除废气中的有害气体，达到环保、高效的废气处理效果。